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FIG 1-1
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(a) Structure
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(b) Movement theory
|
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날개회전식 펌프
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그림 1-1(a)과 같이 2개의 날개홈이 파져있는 로타와 편심되어 있는 실린더 앞, 뒤의 카바로
이루어져 있다.
그림 1-1의 (b)는 동작원리를 나타낸 것이다. (1)과 같이 흡입구를 지나기 직전까지 계속되다가 날개가 흡입구를 지나는 그림
(4)와 같이 흡입된 기체는 날개 사이게 갇히게 된다. 그림 (5)와 같이 밸브를 지나고 부터는 압축되기 시작한다. 충분히 압축되면
약 850 Torr 이상이 되면 배기밸브가 열려서 압축기체들은 배기밸브를 통하여 배출된다. |
2. 진공펌프의 선정방법
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진공펌프를 선정하기 전에 고려해야 할 사항
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- 진공용기의 크기
- 요구되는 진공도
- 배기되는 기체의 성질과 양
- 원하는 작업시간
- 배기속도에 미치는 배관의 영향
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FIG 1-3
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<Pump down factor according
to pressure>
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펌프의 선정방법
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진공시스템을 임의의 압력에서 요구되는 압력까지 필요로 하는 시간에 끝마치기 위하여 필요한 펌프의
배기속도를 아는 것이 중요하다.
진공시스템의 조건이 배기시간에 현저한 영향을 미치므로 이 방법에서는 경험적으로 구한 도달진공계수가 사용된다. 도달진공계수 (F)는
사용되는 펌프에 따라 달라지고 진공도이 함수이다. |
S=FV/t |
F : 진공도달 계수
V : 용기의 크기 (l)
t : 진공도달시간 (min)
S : 배기속도 (l/min)
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Safety Coefficient
|
pressure
|
safety
coefficient
|
760mmHg
|
-100mmHg
|
1.0
|
100
|
-10
|
1.25
|
0.5
|
-0.5
|
1.5
|
10
|
-0.05
|
2.0
|
0.05
|
-0.002
|
4.0
|
|
구분
|
압력범위
|
저진공
|
760Torr~1Torr
|
100Kpa~100Pa
|
중진공
|
760Torr~10-3Torr
|
100Pa~0.1Pa
|
고진공
|
10-3Torr~10-7Torr
|
0.1Pa~10Pa
|
초고진공
|
10-7Torr-Less
|
10~Less
|
|
1
|
Torr
|
atm
|
dyne/cm2
|
kg/cm2
|
1b/in2
|
Newton/m2
|
1 Torr(mmHg)
|
1
|
1,316x10-3
|
1.333x103
|
1.360x10-3
|
1.934x10-2
|
1.333x102
|
1 atm
|
760
|
1
|
1.0133x106
|
1.033
|
14.70
|
1.0133x105
|
1 dyne/cm2(μ
bar)
|
7,501x10-4
|
9.869x10-7
|
1
|
1.020x10-6
|
1.450x10-5
|
0.1
|
1 kg/10-3
|
735.6
|
9.678x10-1
|
9.807x105
|
1
|
14.22
|
9.807x104
|
1 Ib/in2(Psi)
|
51.72
|
6.805x10-2
|
6.895x104
|
7.031x10-2
|
1
|
6.895x103
|
1 Newton/m3(Pa)
|
7,501x10-3
|
9.869x10-6
|
10
|
1.020x10-6
|
1.450x10-4
|
1
|
|
|
in3
|
ft3
|
m3
|
1
|
gal
|
Cubic inch
|
1
|
5.78x10-3
|
1.64x10-5
|
1.64x10-2
|
4.32x10-3
|
Cubic feet
|
1728
|
1
|
2.83x10-2
|
28.317
|
7.481
|
Cubic meter
|
6.1x10-4
|
35.314
|
1
|
1000
|
264.17
|
Liter
|
61.02
|
3.53x10-2
|
0.001
|
1
|
0.26418
|
Gallon
|
231
|
13.36x10-2
|
3.78x10-3
|
3.7854
|
1
|
|
EVAPORATION PRESSURE OF WATER
|
온도
|
압력
|
온도
|
압력
|
100
|
760
|
25
|
23.75
|
95
|
633.9
|
20
|
17.63
|
90
|
525.76
|
15
|
12.78
|
85
|
433.6
|
10
|
9.209
|
80
|
355.1
|
5
|
6.54
|
75
|
299.1
|
1
|
4.92
|
70
|
233.7
|
0
|
4.557
|
65
|
187.54
|
-1
|
4.26
|
60
|
149.38
|
-5
|
4.16
|
55
|
118.04
|
-10
|
2.14
|
40
|
92.51
|
-15
|
1.43
|
45
|
71.88
|
-20
|
0.77
|
40
|
55.32
|
-25
|
0.47
|
35
|
42.17
|
-30
|
0.28
|
30
|
31.82
|
-40
|
0.096
|
|
MODEL
No.
|
WSVP
9018
|
WSVP
9030
|
WSVP
9060
|
Displacement
speed lmin
|
60Hz
|
180
|
300
|
600
|
Ultimate
Pressure Torr
|
With
gasballast
|
1x10-2
|
1x10-2
|
1x10-2
|
Without
gasballast
|
5x10-4
|
5x10-4
|
5x10-4
|
Inlet
port (mm)
|
Ø 32
|
Ø 32
|
Ø 46
|
Outlet
port
|
PF
1
|
PF
1"
|
PF
11/2
|
Power
requirements (Kw)
|
0.4
|
0.75
|
0.75
|
Rotational
speed (R.P.M)
|
600
|
600
|
600
|
Oil
capacity(l)
|
187.54
|
-1
|
4.26
|
Weight
(including motor) kg
|
32(50)
|
35(60)
|
51(80)
|
|
MODEL
|
A
|
B
|
C
|
D
|
E
|
F
|
G
|
H
|
I
|
J
|
K
|
L
|
WSVP
9018
|
488
|
285
|
342
|
450
|
200
|
Ø
32
|
35
|
25
|
135
|
88
|
Ø
171
|
Ø
13
|
WSVP
9030
|
545
|
310
|
365
|
515
|
272
|
Ø
32
|
40
|
30
|
145
|
100
|
Ø
171
|
Ø
13
|
WSVP
9060
|
610
|
350
|
424
|
580
|
310
|
Ø
46
|
50
|
35
|
171
|
110
|
Ø
210
|
Ø
13
|
|
|
항시 점검 사항
|
- 유량의 적정여부
- 솔레노이드밸브의 작동상태(전압 220V) <WSSR 형>
- 벨트의 장력상태 및 노후정도
- 펌프의 사용온도는 사용 상태에 따라 변하나 일반적으로 표면과 베아링 부위 온도 40~80°C
- 겨울철에는 작업전 10분 정도 공회전 시키십시요.
- 오일훨터 여과망을 수시로 확인 청소 및 교체
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진공펌프의 위치
|
- 전기 배선관계
- 통풍 관계
- 배기구의 배관관계
- 겨울철의 경우 난방관계
- 수리점검이 용이한 장소
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용도
|
- 진공배기-
전구, 형광등, 브라운관, 그외 일반 관구류의 배기용에 사용.
- 금속의 진공처리-
증류야금, 환원야금, 기타용해, 주조등의 장치에 사용.
- 진공가스 분석-
티타늄 (은백색의 금속, 제트기, 로케트 재료), 철, 구리, 니켈, 코발트, 크롬등의 함유 가스분석장치.
- 진공증착-
콘텐서 종이, 트랜지스트등 전기부품이나 렌즈, 플라스틱 제품 등, 각종 장식품의 증착 도금용.
- 진공함침-
콘덴서, 케이블, 코일, 전기기기, 주물부품, 소결합금(분말합금)계, 섬유, 목재, 피혁, 베이클라이트 제품등, 진공함침용.
- 진공건조-
식료품, 제지, 피혁, 의약품등의 건조용.
- 진공성형-
비닐, 폴리에스테르, 셀로오스등의 플라스틱 시트나, 폴리에스테르 수지의 진공 성형용.
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A/S 의뢰
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